logo
calendar7 Dekabr 2019
view40
Основной язык:Русский

ЛАЗЕРНАЯ ИНТРОСКОПИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН

Область науки:
pdf

file.pdf

PDF

АННОТАЦИЯ СТАТЬИ

quote
The possibility of detection of defects in silicon wafers by Fourier analysis of digital images obtained by laser introscopy is shown

АВТОРЫ

Z.Azamatov

НИИ физики полупроводников и микроэлектроники при НУУЗ

I.Kulagin

K.Abdurakhmanov

N.Akbarova

Теги

# интроскопия# Фурье анализ# дефект# кремниевая пластина# defect# introscopy# Fourier analysis# silicon plate

ДРУГИЕ СТАТЬИ ЭТОГО ЖУРНАЛА

Оценить статью

0
оценок: 0
5
4
3
2
1

Идентификаторы статьи

DOI:

Недоступно

Список литературы

Физика полупроводников и микроэлектроника