logo
calendar7 Dekabr 2019
view42
Основной язык:Русский

ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ РОДИЯ И ИРИДИЯ НА ЕМКОСТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Si-SiО2 СТРУКТУР

Область науки:
pdf

file.pdf

PDF

АННОТАЦИЯ СТАТЬИ

quote
Обнаружено, что легирование полупроводниковой подложки атомами Rh и Ir ведет к увеличению значений плотности поверхностных состояний на границе раздела Si-SiO2. Определено, что поверхностные состояния, обусловленные наличием примеси Rh и Ir, являются эффективными генерационными центрами

АВТОРЫ

X.Mansurov

K.Daliev

Национальный университет Узбекистана имени Мирзо Улугбека

SH.Yulchiev

Теги

# полупроводник# подложка# substrate# silicon# кремний# semiconductor# кремний-диоксид# амфотерная примесь# родий# иридий# silicon dioxide# amphoteric impurity# rhodium# iridium

ДРУГИЕ СТАТЬИ ЭТОГО ЖУРНАЛА

Оценить статью

0
оценок: 0
5
4
3
2
1

Идентификаторы статьи

DOI:

Недоступно

Список литературы

Физика полупроводников и микроэлектроника