В работе исследовано влияние γ-облучения на рабочие характеристики термодатчиков на основе Si Установлено, что чем меньше концентрация примесных атомов, тем больше сопротивление термодатчика и соответственно больше радиационная стойкость. Состояние герметизации достаточно стабильно сохраняется до дозы Ф>5·107р, а при более высоких дозах Ф>5·108Р герметизация практически разрушается. При этом в данном интервале доз надежность и омичность электрического контакта практически не изменяются. Стимулирующее действие больших доз γ-облучения приводит к увеличению коэффициента термочувствительности в разработанных термодатчиках на основе кремния легированного Ni.