14 январ 2021
1Asosiy til:O'zbek
СИРТДАГИ НУҚСОНЛАРНИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ УСУЛИ БИЛАН АНИҚЛАШ
Fan yo'nalishi:
5fffe8f2c10ef.pdf
MAQOLA ANNOTATSIYASI
Турли материаллар (моддалар) сиртининг оптик доимийликларини ўлчашда эллипсометрия усули сиртни поляриметрия текшириш усуллари қаторига киради ва у юпқа пардалар (плёнка) қалинлигини, юпқа пардалар параметрларини турли материаллар (моддалар) сиртининг оптик доимийликларини ўлчашга мўлжалланган. Бу усул икки муҳит чегара соҳасидан қайтгандаги қутбланган ёруғлик ўзгариш эффектига асосланган. Текширилаётган чегара соҳаси қутбланган ёруғлик билан ёритилади ва қайтгандаги қутбланган ёруғлик нурининг эллипс ўзгариши қайд этилади.
MUALIFLAR
Teglar
# диапазон# лазер# модулятор# orientation# ориентация# laser# Эллипсометрия# поляриметрия# инфрақизил# Эллипсометрический# поляриметрическая# лазеры# инфракрасный# Ellepsometry# polyametry# deapason# modulyation# enfraqesel
Maqolani baholang
0
Maqola idintifikatorlari
DOI:
Mavjud emas
Foydalanilgan adabiyotlar
A.I.Kulmentev, O.P.Kulmenteva.Metodi analiza poverxnosti tverdix tel.Sumi.«SumDU».2008. S.158.
V.E.Gusev, A.A.Karabutov.Lazernaya optoakustika.Moskva.«Nauka».1991.S.212.
M.Pratton.Vvedenie v fiziku poverxnosti.Ijevsk.NITS «Regulyarnaya i xaoticheskaya dinamika».2000.S.256.