15 июн 2021
2Asosiy til:Rus
НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ЛАЗЕРНОГО ЛЕГИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ
Fan yo'nalishi:
60c83159f3076.pdf
MAQOLA ANNOTATSIYASI
Мақолада лазер нурланишларининг яримўтказгичли модда билан ўзаро таъсирлашувининг физик-кимёвий асослари кўриб чиқилган. Яримўтказгичли кремний кристалларини темир ва қалай билан легирлаш имкониятлари кўрсатилган ва шароитлари аниқланган. Киритилган атомларнинг нисбатан чуқур ва бир хил тақсимланишини таъминлайдиган лазерли технологик қурилманинг тузилиш чизмаси келтирилган.
MUALIFLAR
Teglar
# диффузия# легирование# растворимость# эрувчанлик# ионли имплантация# ионная имплантация# ionic implantation# лазер# diffusion# surface# легирлаш# сирт# поверхность# laser# alloy# melting# тақсимланиш концентрацияси# нурланиш им-
пульси# преципитат# киришма атом# концентрационный профиль# импульс излучения# примесный атом.# section concentration# radiation impulse# precipitate# impurity atom.
Maqolani baholang
0
Maqola idintifikatorlari
DOI:
Mavjud emas
Foydalanilgan adabiyotlar
1. Голубев В.С., Лебедев Ф.В. Физические основы технологических лазеров.- М.: ВШ,1987. 2. Дьюли У. Лазерная технология и анализ материалов.- М.: Мир, 1986. 3. Zaynobidinov S.Z., Yo’lchiyev Sh., Nazirov D., Nosirov M. Yarimo’tkazgichlarda atomlar diffuziyasi.- T., 2012. 4. Рябов С.Г., Торопкин Г.Н., Усольцев И.Ф. Приборы квантовой электроники.- М.: Радио и связь, 1985. 5. Карлов И.В. Лекции по квантовой электронике.- М.: Наука, 1983.