7 июл 2021
1Asosiy til:Rus
ИССЛЕДОВАНИЕ ПРИМЕСНЫХ ПРЕЦИПИТАТОВ КОБАЛЬТА В КРЕМНИИ
Fan yo'nalishi:
60e549957302c.pdf
MAQOLA ANNOTATSIYASI
Методом электронно-зондового микроанализа исследованы структура и химический состав примесных преципитатов Со в монокристаллах Si. Как выявлено, размеры и формы примесных преципитатов зависят от значения скорости охлаждения образцов после диффузионного отжига. Установлено, что основная часть атомов легирующей примеси, а также технологических примесей расположена в центре преципитата.
MUALIFLAR
Teglar
Maqolani baholang
0
Maqola idintifikatorlari
DOI:
Mavjud emas
Foydalanilgan adabiyotlar
1. Zainabiddinov S.Z., Turaev A.R., Karimberdiev Kh.Kh., Kholbekov A. Influence of Cooling Rate on the Formation of impurity Silicides in Si. Turkish Journal of Physics, 12, 129 (1994). 2. Гегузин Я.Е. Макроскопические дефекты в металлах. – М.: Металлург-издат, 1962. 3. Булярский С.В., Фистуль В.И. Термодинамика и кинетика взаимодействующих дефектов в полупроводни- ках. – М.: Наука, 1997. 4. В.В. Светухин, А.Г. Гришин, О.В. Приходько. Моделирование кинетики роста октаэдрических и пластинча- тых кислородных преципитатов в кремнии. ФТП, 37, 871 (2003). 5. Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС. – М.: Мир, 1986.- С.176.