7 июл 2021
2Asosiy til:O'zbek
КРЕМНИЙДА АТОМЛАР ДИФФУЗИЯСИНИНГ АЙРИМ ХУСУСИЯТЛАРИ
Fan yo'nalishi:
60e54dde2d9a6.pdf
MAQOLA ANNOTATSIYASI
Статья посвящена анализу процессов диффузии атомов 3d-элементов в кремнии. Приводятсяосновные диффузионнные параметры этих элементов, и на основе сравнительного анализа показаны закономерности соответствий между особенностями атомов и их диффузионными параметра- ми. Даны качественные объяснения физических эффектов, наблюдаемых в легированном кремнии.
MUALIFLAR
Teglar
Maqolani baholang
0
Maqola idintifikatorlari
DOI:
Mavjud emas
Foydalanilgan adabiyotlar
1.Дж.Маннинг. Кинетика диффузиии атомов в кристаллах.- М.: Мир, 1971 2.Дж.П.Старк. Диффузия в твердых телах.- М.: Энергия, 1980 3.Б.И. Болтакс. Диффузия в полупроводниках.- М.:Физ.мат ГИЗ, 1960 4.Т.Д.Шафаров. Дефекты и диффузия в эпитаксиальных структурах.- Л.: Наука, 1978 5.М.К.Бахадирханов, Б.И.Болтакс и др. Компенсированный кремний.- Л.: Наука, 1972 6.С.Зайнабидинов. Физические основы образования глубоких уровней в кремнии.- Т.: Фан, 1984