Как показано в работах [1, 2] в условиях низкотемпературного и многоэтапного легирования кремния, атомы никеля в решетке создают кластеры. Управляя условиями легирования можно варьировать размеры таких кластеров в широком интервале 0,15 мкм. Особенностью таких кластеров атомов Niзаключается в том, что они распределены по всему объему кристалла (рис.1), их плотность в зависимости от условия легирования составляет Ns=106107см-2и соответственно концентрация Nv=10101012см-3