7 декабр 2019
6Asosiy til:Rus
ЛАЗЕРНАЯ ИНТРОСКОПИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН
Fan yo'nalishi:
file.pdf
MAQOLA ANNOTATSIYASI
The possibility of detection of defects in silicon wafers by Fourier analysis of digital images obtained by laser introscopy is shown
MUALIFLAR
Z.Azamatov
НИИ физики полупроводников и микроэлектроники при НУУЗ
I.Kulagin
K.Abdurakhmanov
N.Akbarova
Teglar
# интроскопия# Фурье анализ# дефект# кремниевая пластина# defect# introscopy# Fourier analysis# silicon plate
Maqolani baholang
0
Maqola idintifikatorlari
DOI:
Mavjud emas
Foydalanilgan adabiyotlar
Физика полупроводников и микроэлектроника