В работе приведены результаты исследования тензоэлектрических свойств кремния в объеме, которого были сформированы нанокластеры примесных атомов марганца. Для увеличения величины деформации была разработана специальная геометрическая форма кристалла. Для исследования тензоэлектрических свойств образцов была сконструирована и собрана специальная установка, которая позволяет проводить измерения, как в темноте, так и при освещении