Показана возможность обнаружения дефектов кремниевых пластин на основе Фурье анализа цифровых изображений, полученных с помощью лазерной интроскопии.
Показана возможность обнаружения дефектов кремниевых пластин на основе Фурье анализа цифровых изображений, полученных с помощью лазерной интроскопии.
The possibility of detection of defects in silicon wafers by Fourier analysis of digital images obtained by laser introscopy is shown
| № | Author name | position | Name of organisation |
|---|---|---|---|
| 1 | Azamatov Z.T. | Reseacher | НИИ физики полупроводников и микроэлектроники при НУУЗ |
| 2 | Kulagin I.A. | ||
| 3 | Abdurakhmanov K.P. | ||
| 4 | Akbarova N.A. |
| № | Name of reference |
|---|---|
| 1 | Физика полупроводников и микроэлектроника |