206

В работе приводятся результаты разработки метода и средств измерения контактной разности потенциалов, основанных на анализе компенсационной зависимости зонда Кельвина (не компенсационный метод). Метод реализован в цифровом зонде Кельвина и применен для неразрушающего бесконтактного контроля полупроводниковых пластин по параметрам пространственного распределения работы выхода электрона поверхности.

  • Name of journal
  • Number of edition
  • View count 206
  • Web Address
  • DOI
  • Date of creation in the UzSCI system 22-08-2020
  • Read count 89
  • Date of publication
  • Main LanguageRus
  • Pages104-109
Русский

В работе приводятся результаты разработки метода и средств измерения контактной разности потенциалов, основанных на анализе компенсационной зависимости зонда Кельвина (не компенсационный метод). Метод реализован в цифровом зонде Кельвина и применен для неразрушающего бесконтактного контроля полупроводниковых пластин по параметрам пространственного распределения работы выхода электрона поверхности.

English

The paper presents the results of the development of a method and means of measuring the contact potential difference based on the analysis of the compensation dependence of the Kelvin probe (non-compensation technique). The method is implemented in a digital Kelvin probe and used for non-destructive contactless testing of semiconductor wafers based on characteristics of spatial distribution of electron work function.

№ Author name position Name of organisation
1 Zharin A..
2 Pantsialeyeu K..
3 Mikitsevich U..
4 Gusev O..
№ Name of reference
1 Zharin, A.L. Contact Potential Difference Techniques As Probing Tools in Tribology and Surface Mapping. In book: Scanning Probe Microscopy in Nanoscience and Nanotechnology. – Heidelberg: Springer-Verlag, 2010. – P. 687-720.
2 Pantsialeyeu K.U., Mikitsevich U.A., Zharin A.L. Design of the contact potentials difference probes. Devices and Methods of Measurements. 2016;7(1):7-15. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2016-7-1-7-15.
3 Pantsialeyeu K.U., Svistun A.I., Tyavlovsky A.K., Zharin A.L. Digital contact potential difference probe. Devices and Methods of Measurements. 2016;7(2):136- 144. (In Russ.) https://doi.org/10.21122/2220-9506-2016-7-2-136-144.
4 Pantsialeyeu K. Methods and means of contact potential difference measurements based on the analysis of the compensation depending the Kelvin probe: Tezis of diss ... PhD, Diss. thesis. Minsk, 2016. 23 p. (In Russ.).
Waiting