277

В статье экспериментально показано, что с помощью лазерной обработки можно управлять параметрами приборных  структур.

  • Web Address
  • DOI
  • Date of creation in the UzSCI system05-02-2022
  • Read count277
  • Date of publication10-03-2017
  • Main LanguageRus
  • Pages8-10
English

Мақалада лазер менен қайта ислеў нәтийжесинде әсбаплы структуралардың параметрлерин басқарыў мүмкин екенлиги көрсетилген.

Ўзбек

Мақалада лазерли қайта ишлаш ёрдамида асбобли тузилишларнинг параметрларини бошқариш мумкин эканлиги кўрсатилган.

Русский

В статье экспериментально показано, что с помощью лазерной обработки можно управлять параметрами приборных  структур.

English

The article discusses the experiment, whereby one can manage parameters of structure equipment with the help of laser process.

 

№ Name of reference
1 1. Вяткин А.П., Воронков В.П., Кулешов С.М., Максимова Н.К., Яновский В.П., Якубеня М.П. Физико-химические взаимодействия в контактах палладий-арсенид галлия, подвергнутых импульсному лазерному отжигу. //ПОВЕРХНОСТЬ. Физика, химия, механика. -1986. -№8.
2 2. Горячева Т.В., Дерновский В.И. Особенности разрушения арсенида галлия при действии излучения азотного лазера. //ПОВЕРХНОСТЬ. Физика, химия, механика. -1990. -№4.
3 3. Градобоев А.В., Федоров А.И. Деградация арсенида галлия при воздействии эксимерного лазера. //Журнал технической физики. -2000. –Том 70. – Вып.10.
4 4. Дмитриев А.Г. Твердофазное разложение GaAs при действии лазерного излучения пороговой плотности. //ФТП. -1993. -Том 27. -Вып.4.
5 5. Исмаилов К.А., Тагаев М.Б., Камалов А.Б., Бекбергенов С.Е. Влияние лазерной обработки на параметры барьерных контактов к GaAs.// Узбекский физический журнал. -2004. -Vol.6.(№1).
Waiting