Ikkilamchi ionlar mass-spektrometriyasi (VIMS) usuli yordamida Nb sirtini Xe+ ionlari bilan bombardimon qilish natijasida hamda kameraga kislorod ionlarini kiritish vaqtidagi yuzaga keladigan  NbnOm+ metallik klasterlarining emissiyasi va fragmentaciyasi jarayonlari o‘rganilgan. NbnOm+ klasterlarining hosil bo‘lishi jarayoni kombinatorli sintez mehanizmi yordamida tushuntiriladi. Ikkilamchi ionlar mass-spektrometriyasi (VIMS) usuli yordamida Nb sirtini Xe+ ionlari bilan bombardimon qilish natijasida olingan natijalar bilan  kelajakda nanotehnalogiya yanada rivojlanishiga olib keladi.

The emission and fragmentation dependencies of Nb_nO_m⁺ clusters sprayed from the niobium surface with Xe+ ions at the oxygen pressure at the bombarded surface were examined using the secondary ion mass spectrometry process. It has been shown that the process of Nb_nO_m⁺ cluster formation at ion spraying can be defined within the context of combinatorial synthesis mechanism, taking into account the mutual reversibility of formation reactions and monomolecular decomposition. The received data testify that at ionic spraying generation of heteronuclear clusters of various stoichiometries is possible. The study in the same experiments of the fragmentation of the atomized clusters and measurement of the energy spectra of fragmented ions also allows you to determine the dissociation energies of the cluster structures in a single experiment, which greatly expands the possibilities of VIMS to solve the problems of modern nanotechnology.

В статье рассмотрены результаты исследования методом вторично-ионной масс-спектрометрии зависимости эмиссии и фрагмента­ции кластеров Nb_nO_m⁺, распыленных ионами Xe+ с поверхности ниобия, от давления кислорода вблизи бомбардируемой поверхности. Показано, что с учетом взаимной обратимости реакций об­разования и мономолекулярного распада процесс образования кластеров Nb_nO_m⁺ при ионном распы­лении может быть описан в рамках механизма комбинаторного синтеза. Полученные данные свидетельствуют, что при ионном распылении возможна генерация гетероядерных кластеров различной стехиометрии. Результаты исследования в тех же экспериментах фрагментации распыленных кластеров и измерения спектров энергий фрагментных ионов позволяют также в рамках одного эксперимента определить энергии диссоциации кластерных структур, что значительно расширяет возможности ВИМС для решения задач современных нанотехнологий.