Экспериментально установлено явление диффузии миграции кластеров примесных атомов никеля в кристаллической решетке кремния. Установлено, что кластеры перемещаются в кристаллической решетке кремния с большим коэффициентом диффузии порядка D~10-9 см2 /с при T=800 °С. Определен состав кластеров примесных атомов никеля и предложена модель их структуры, а также механизм диффузии

The phenomenon of diffusion of migration of clusters of impurity nickel atoms in the silicon lattice is experimentally shown. It was established that clusters move in a silicon lattice with a large diffusion coefficient of the order of D ~ 10–9 cm2 /s at T = 800 °С. The composition of the clusters of impurity nickel atoms was determined and a model of their structure was proposed, as well as a diffusion mechanism.