387

Предложена и реализована схема компактного спеклинтерферометра - ширографа для цифровой ширографии. Реализован программный алгоритм получения широграмм. Широграф предназначен для оценки деформации поверхности, в частности, может использоваться для оценки герметичности корпусов микроэлектронных приборов.

  • Журнал номи
  • Нашр номи
  • Кўришлар сони 387
  • Internet ҳавола
  • DOI
  • UzSCI тизимида яратилган сана 21-08-2020
  • Ўқишлар сони 271
  • Нашр санаси
  • Мақола тилиRus
  • Саҳифалар сони92-97
Русский

Предложена и реализована схема компактного спеклинтерферометра - ширографа для цифровой ширографии. Реализован программный алгоритм получения широграмм. Широграф предназначен для оценки деформации поверхности, в частности, может использоваться для оценки герметичности корпусов микроэлектронных приборов.

English

А scheme of a compact speckle interferometer - shearograph for digital shearography was designed and developed. A software algorithm for obtaining of 93 shearograms was implemented. The device can be used for evaluation of deformation, in particular, for inspection of hermetic seals of microelectronic packages

№ Муаллифнинг исми Лавозими Ташкилот номи
1 Azamatov Z.T.
2 Valeriy K..
3 Yoldoshev M..
№ Ҳавола номи
1 W. Steinchen, Digital Shearography. Theory and application of digital speckle pattern shearing interferometry. – Washington: SPIE press, 2003 – 312 p.
2 Y.Y. Hung, Shearography: a novel and practical approach to nondestructive testing, J. Nondestructive Eval. 8 (2) (1989) 55–68.
3 K.W. Long, 3-Beam phase shift shearography for simultaneous measurement of in-plane and out-of-plane displacements and its applications to residual stress easurements, Ph.D. Dissertation, Oakland University, 1996.
4 Y.Y. Hung, J.Q. Wang, Dual-beam phase shift shearography for measurement of in-plane strains, Opt. Lasers Eng. 24 (5–6) (1996) 403–413.
5 Y.Y. Hung, K.W. Long, J.W.Wang, Measurement of residual stress by phase shift shearography, Opt. Lasers Eng. 27 (1) (1997) 61–73.
6 F. Chen, C.T. Griffen, Y.Y. Hung, Stroboscopic phase shifting shearography for automated vibration measurement, in: Proceedings of the 15th Biennial Conference on Mechanical Vibration and Noise 1995 ASME Design Engineering Technical Conferences, vol. 3, part C, Boston, Massachusetts, September 17–20, 1995, pp. 1399– 1415
7 Y.Y. Hung, Dahuan Shi, Technique for rapid inspection of hermetic seals of microelectronic packages using shearography, Opt. Eng. 37 (5) (1998) 1406–1409.
Кутилмоқда