СИРТДАГИ НУҚСОНЛАРНИ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ УСУЛИ БИЛАН АНИҚЛАШ

Турли материаллар  (моддалар) сиртининг оптик   доимийликларини 
ўлчашда  эллипсометрия  усули  сиртни  поляриметрия  текшириш  усуллари  қаторига 
киради  ва у юпқа пардалар  (плёнка) қалинлигини, юпқа пардалар параметрларини турли 
материаллар  (моддалар)  сиртининг  оптик  доимийликларини  ўлчашга мўлжалланган. Бу 
усул  икки муҳит  чегара  соҳасидан  қайтгандаги  қутбланган  ёруғлик  ўзгариш  эффектига 
асосланган.  Текширилаётган  чегара  соҳаси  қутбланган  ёруғлик  билан  ёритилади  ва 
қайтгандаги қутбланган ёруғлик нурининг эллипс ўзгариши қайд этилади. 

Эллипсометрический  метод  относится  к  поляриметрическим 
методам  исследования  поверхности  и  предназначен  для  измерения  толщины  тонких 
пленок,параметров  тонкопленочных  структур  и  оптических  констант  поверхностей 
различных материалов.Этот метод основан на эффекте изменения поляризации света при 
отражении  от  границы  раздела  двух  сред.Исследуемая  граница  раздела  освещается 
поляризованным  светом  и  регистрируется  изменения  эллипса  поляризации  луча  света  в 
результате его отражения. 

The ellipsometric method refers to polarimetric methods  for studying the surface 
and is intended to measure the thickness of thin films,parameters of thin-film structures and optical 
surface  constants  of  various  materials.This  method  is  based  on  the  effect  of  a  change  in  the 
polarization of  light upon reflection  from  the  interface between  two media.The studied  interface  is 
illuminated by polarized light and changes in the ellipse of polarization of the light beam as a result 
of its reflection are recorded.