393

Показана возможность обнаружения дефектов кремниевых пластин на основе Фурье анализа цифровых изображений, полученных с помощью лазерной интроскопии.

  • Количество прочтений 0
  • Дата публикации 28-02-2019
  • Язык статьиRus
  • Страницы54-57
Русский

Показана возможность обнаружения дефектов кремниевых пластин на основе Фурье анализа цифровых изображений, полученных с помощью лазерной интроскопии.

Ўзбек

The possibility of detection of defects in silicon wafers by Fourier analysis of digital images obtained by laser introscopy is shown

№ Имя автора Должность Наименование организации
1 Azamatov Z.T. Reseacher НИИ физики полупроводников и микроэлектроники при НУУЗ
2 Kulagin I.A.
3 Abdurakhmanov K.P.
4 Akbarova N.A.
№ Название ссылки
1 Физика полупроводников и микроэлектроника
В ожидании