Как показано в работах [1, 2] в условиях низкотемпературного и многоэтапного легирования кремния, атомы никеля в решетке создают кластеры. Управляя условиями легирования можно варьировать размеры таких кластеров в широком интервале 0,15 мкм. Особенностью таких кластеров атомов Niзаключается в том, что они распределены по всему объему кристалла (рис.1), их плотность в зависимости от условия легирования составляет Ns=106107см-2и соответственно концентрация Nv=10101012см-3
Как показано в работах [1, 2] в условиях низкотемпературного и многоэтапного легирования кремния, атомы никеля в решетке создают кластеры. Управляя условиями легирования можно варьировать размеры таких кластеров в широком интервале 0,15 мкм. Особенностью таких кластеров атомов Niзаключается в том, что они распределены по всему объему кристалла (рис.1), их плотность в зависимости от условия легирования составляет Ns=106107см-2и соответственно концентрация Nv=10101012см-3
| № | Muallifning F.I.Sh. | Lavozimi | Tashkilot nomi |
|---|---|---|---|
| 1 | Zikrillayev N.F. | ! | Ташкентский государственный технический университет |
| 2 | Boboxo'jayev R.P. | ! | Ташкентский государственный технический университет |
| 3 | Saitov E.B. | ! | Ташкентский государственный технический университет |
| 4 | Jurayev O.. | ! | Ташкентский государственный технический университет |
| № | Havola nomi |
|---|---|
| 1 | 1.М.К. Бахадырханов, К.С. Аюпов, Э.У. Арзукулов, С.Н. Сражев, Т.У. Тошбоев // Термические свойство кремния с кластерами атомов никеля // Физика.–Томск, 2008.–No 3 (11).–C.170-172.2.М. К. Бахадырханов, Х. М. Илиев, К. С. Аюпов, Б. А. Абдурахмонов, П. Ю. Кривенко, Р. Л. Холмухамедов Самоорганизация примесных атомов никеля в кремнии // Неорганические материалы, 2011, том 47, No9, с. 1062–1064.Рис. 3. Фото-ЭДС структур кластер атомов Ni-кремний |