О ВЗАИМОДЕЙСТВИИ ПРИМЕСЕЙ МАРГАНЦА И ЦИНКА В КРЕМНИИ

Емкостнымиметодами исследовано межпримесное взаимодействие в кремнии, легированном марганцем и цинком. Установлено, что при одновременном введении Mn и Zn в кремний образуются уровни с энергиями ионизации Е- 0.42 эВ и Ес- 0.47 эВ, эти уровни связаны с атомами марганца и цинка, соответственно. Отметим, что концентрации наблюдаемых уровней на порядок меньше, чем в образцах, раздельно легированных марганцем и цинком Обнаружено, что уровень Е с- 0.54 эВ, связанный с парамагнитным кластером (Mn0) 4 в кремнии, в образцах n-Si не наблюдается. Обнаружен новый глубокий уровень с энергией ионизации Е с- 0.33 эВ и сечением захвата электроновс Гп= 4.3 •10~ 14 см2, образующийся при совместном введении марганца и цинка в кремний