logo
calendar7 Dekabr 2019
view39
Main language:Russian

ЛАЗЕРНАЯ ИНТРОСКОПИЯ КРЕМНИЕВЫХ ПЛАСТИН

Field of Science:
pdf

file.pdf

PDF

ARTICLE ANNOTATION

quote
The possibility of detection of defects in silicon wafers by Fourier analysis of digital images obtained by laser introscopy is shown

AUTHORS

Z.Azamatov

НИИ физики полупроводников и микроэлектроники при НУУЗ

I.Kulagin

K.Abdurakhmanov

N.Akbarova

Tags

# интроскопия# Фурье анализ# дефект# кремниевая пластина# defect# introscopy# Fourier analysis# silicon plate

OTHER ARTICLES IN THIS JOURNAL

Rate Article

0
0 ratings
5
4
3
2
1

Article Identifiers

References

Физика полупроводников и микроэлектроника