logo
calendar7 Dekabr 2019
view41
Main language:Russian

ВЛИЯНИЕ ПРИМЕСНЫХ АТОМОВ РОДИЯ И ИРИДИЯ НА ЕМКОСТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Si-SiО2 СТРУКТУР

Field of Science:
pdf

file.pdf

PDF

ARTICLE ANNOTATION

quote
Обнаружено, что легирование полупроводниковой подложки атомами Rh и Ir ведет к увеличению значений плотности поверхностных состояний на границе раздела Si-SiO2. Определено, что поверхностные состояния, обусловленные наличием примеси Rh и Ir, являются эффективными генерационными центрами

AUTHORS

X.Mansurov

K.Daliev

Национальный университет Узбекистана имени Мирзо Улугбека

SH.Yulchiev

Tags

# полупроводник# подложка# substrate# silicon# кремний# semiconductor# кремний-диоксид# амфотерная примесь# родий# иридий# silicon dioxide# amphoteric impurity# rhodium# iridium

OTHER ARTICLES IN THIS JOURNAL

Rate Article

0
0 ratings
5
4
3
2
1

Article Identifiers

References

Физика полупроводников и микроэлектроника