Рассмотрены особенности конструкции термоанемометрического датчика на основе кремния с нанокластерами атомов никеля, обладающий высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Исследованы их электрофизические параметры в зависимости от вида сплошных сред
Рассмотрены особенности конструкции термоанемометрического датчика на основе кремния с нанокластерами атомов никеля, обладающий высокой чувствительностью и стабильностью выходных параметров. Исследованы их электрофизические параметры в зависимости от вида сплошных сред
The design features of a thermoanemometric sensor based on silicon with nanoclusters of Nickel atoms, which has high sensitivity and stability of output parameters, are considered. Their electrophysical parameters are studied depending on the type of continuous media.
| № | Author name | position | Name of organisation |
|---|---|---|---|
| 1 | Nasriddinov S.S. | Зам. Директора | НИИ физики полупроводников и микроэлектроники при НУУЗ |
| 2 | Esbergenov D.M. | базовый докторант | НИИ физики полупроводников и микроэлектроники при НУУЗ |
| № | Name of reference |
|---|---|
| 1 | Яримўтказгичлар физикаси ва микроэлектроника |