186

На основе проведенного сравнительного анализа возможностей различных методов, можно сказать следующее, что наиболее хороших результатов при изготовлении приборных структур микроэлектроники, можно достичь используя методы МЛЭ и ионной имплантации.

  • Jurnal nomi
  • Nashr soni
  • Ko'rishlar soni 186
  • Internet havola
  • DOI
  • UzSCI tizimida yaratilgan sana 22-08-2020
  • O'qishlar soni 88
  • Nashr sanasi
  • Asosiy tilRus
  • Sahifalar220-225
Русский

На основе проведенного сравнительного анализа возможностей различных методов, можно сказать следующее, что наиболее хороших результатов при изготовлении приборных структур микроэлектроники, можно достичь используя методы МЛЭ и ионной имплантации.

English

Based on a comparative analysis of the capabilities of various methods, we can say the following that the best results in the manufacture of instrument structures of microelectronics can be achieved using the MBE and ion implantation methods.

№ Muallifning F.I.Sh. Lavozimi Tashkilot nomi
1 Tashatov A..
2 Egamberdiev O..
3 Khuzhamberdieva J..
№ Havola nomi
1 Tashatov A. K., Kodirov I. N. //Pribor dlya kompleksnoj diagnostiki poverhnosti tverdyh tel, implanirovannyh ionnoj nizkih `energij// Uzbekskij fizicheskij zhurnal. 1995, № 1, s. 63-65
2 Tashatov A. K. //Sravnenie parametrov getero`epitakcial'nyh struktur, plouchennyh razlichnymi metodami // Fizikaviy elektronika bo'yicha IV- Respublika anjumani. Maruzalar tezislari. -Toshkent, 2005. B 26
Kutilmoqda