В статье экспериментально показано, что с помощью лазерной обработки можно управлять параметрами приборных структур.
Мақалада лазер менен қайта ислеў нәтийжесинде әсбаплы структуралардың параметрлерин басқарыў мүмкин екенлиги көрсетилген.
Мақалада лазерли қайта ишлаш ёрдамида асбобли тузилишларнинг параметрларини бошқариш мумкин эканлиги кўрсатилган.
В статье экспериментально показано, что с помощью лазерной обработки можно управлять параметрами приборных структур.
The article discusses the experiment, whereby one can manage parameters of structure equipment with the help of laser process.
| № | Muallifning F.I.Sh. | Lavozimi | Tashkilot nomi |
|---|---|---|---|
| 1 | Bekbergenov S.Y. | Professor | Karakalpak State university |
| 2 | Seytimbetova G.A. | Professor | Karakalpak State university |
| 3 | Allambergenov A.J. | Professor | Karakalpak State university |
| № | Havola nomi |
|---|---|
| 1 | 1. Вяткин А.П., Воронков В.П., Кулешов С.М., Максимова Н.К., Яновский В.П., Якубеня М.П. Физико-химические взаимодействия в контактах палладий-арсенид галлия, подвергнутых импульсному лазерному отжигу. //ПОВЕРХНОСТЬ. Физика, химия, механика. -1986. -№8. |
| 2 | 2. Горячева Т.В., Дерновский В.И. Особенности разрушения арсенида галлия при действии излучения азотного лазера. //ПОВЕРХНОСТЬ. Физика, химия, механика. -1990. -№4. |
| 3 | 3. Градобоев А.В., Федоров А.И. Деградация арсенида галлия при воздействии эксимерного лазера. //Журнал технической физики. -2000. –Том 70. – Вып.10. |
| 4 | 4. Дмитриев А.Г. Твердофазное разложение GaAs при действии лазерного излучения пороговой плотности. //ФТП. -1993. -Том 27. -Вып.4. |
| 5 | 5. Исмаилов К.А., Тагаев М.Б., Камалов А.Б., Бекбергенов С.Е. Влияние лазерной обработки на параметры барьерных контактов к GaAs.// Узбекский физический журнал. -2004. -Vol.6.(№1). |