530

Выполнен дифференциальный анализ известных экспериментальных зависимостей диффузионных параметров от физико-химических параметров примесного атома в кремнии.

 

  • Internet havola
  • DOI
  • UzSCI tizimida yaratilgan sana 21-12-2019
  • O'qishlar soni 521
  • Nashr sanasi 05-05-2019
  • Asosiy tilRus
  • Sahifalar21-24
Ўзбек

Мақолада кремнийда ноанъанавий ҳисобланган 3d ўтиш элементлари атомларининг тажрибада аниқланган диффузия параметрларининг атомлар физик-кимёвий параметрларига боғланиши бўйича маълумотлар дифференциал таҳлил этилган.

 

Русский

Выполнен дифференциальный анализ известных экспериментальных зависимостей диффузионных параметров от физико-химических параметров примесного атома в кремнии.

 

English

A diff erential analysis of the known experimental dependences of the diff usion parameters on the physicochemical parameters of the impurity atom in silicon is performed.

 

№ Muallifning F.I.Sh. Lavozimi Tashkilot nomi
1 Aliyeva J.R. o'qituvchi Andijon davlat universiteti
№ Havola nomi
1 1. Люев В.К., Кармоков А.М. Коэффициент диффузии и энергии активации диффузии легирующих элементов в поверхностном слое монокристалла кремния // Современные наукоемкие технологии. – 2016. – №5 (Часть 2). – С. 262 – 265. 2. Матвеев А.В. Моделирование поверхностной сегрегации атомов в бинарных системах // Конденсированные среды и межфазные границы. – 2012. – Т. 14. – № 3. – С. 358 – 376. 3. Эрвье Ю.Ю. О накоплении примеси в адсорбционном слое в процессе легирования при молекулярно – лу- чевой эпитаксии // Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. – 2013. – № 2. – С. 4 – 10. 4. Зайнабидинов С., Носиров М., Алиева Ж. О коэффициентах диффузии 3d элементов в кремнии // Узбекский физический журнал. – 2003. – №1. – С. 69 – 71. 5. Fisher D. J. Diff usion in Silicon: 10 years of research. – Zuerich-Uetikon, Switzerland: Scitec Publications, 1998 // https://www.worldcat.org/title/diff usion-in-silicon-10-years-of-research/oclc/827009415. 6. Алиева Ж.Р., Носиров М., Абдукаххорова М.А., Аббосова Н. О¥¥sion3 диффузионных параметрах примес- ных атомов V группы элементов в кремнии // Молодой ученый. – 2018. – №51 (237). – С. 1 – 3. 7. Рахимбаева М. Исследование закономерностей распределения примесей в кристаллах кремния методом математической статистики. Дисс... канд.физ.-мат.наук. – Ургенч, УрГУ имени Аль-Хорезми.– 2002.– 140 с.
Kutilmoqda