ПРИМЕНЕНИЕ МЕТОДОВ ЦИФРОВОЙ ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ ПРИ ИЗМЕРЕНИИ НАНОМЕТРОВЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Показано что методы цифровой голографи ческой интерферометрии позволяют проводить из мерения с нанометровой точностью, и могут быть положены в основу технологии стандартизации из мерений нанометровых перемещений. Авторы анали зируют методы и алгоритмы обработки голографи ческих изображений, которые позволяют получить трёхмерную информацию о смещениях исследуемых объектов с субнанометровой точностью. Annotation It is shown that digital holographic interferometry methods allow measurements to be made with nanometer accuracy and can be used as a basis for standardization technology of nanometer displacement measurements. The authors analyze methods and algorithms for processing holographic images that allow obtaining three-dimensional information about displacements of objects under study with subnanometer accuracy