Изучено образование дефектных центров в кремнии, легированном железом. Показано, что с атомами железа в Si связан единственный ГУ с энергией ионизации Еv+0.41 эВ, причем он быстро отжигается при низких температурах. Установлено, что предварительное введение в объем кремния примесей диспрозия и иттербия приводит к стабилизации свойств уровня железа в кремнии
The formation of defect centers in silicon doped with iron was studied. It is shown that a single deep level with an ionization energy EV+0.41 eV is associated with iron atoms in Si, and it is quickly annealed at low temperatures. It was found that the preliminary introduction of dysprosium and ytterbium impurities into the silicon volume leads to stabilization of the properties of the iron level in silicon
№ | Muallifning F.I.Sh. | Lavozimi | Tashkilot nomi |
---|---|---|---|
1 | Daliev S.K. | ||
2 | Ravshanov Y.R. | ||
3 | Esbergenov D.M. |
№ | Havola nomi |
---|---|
1 | Collins C.B., and Carlson R.O. Properties of Silicon Doped with Iron or Copper. Phys. Rew., 1957, v.108, p.1409-1414. |
2 | Болтакс Б.И., Бахадырханов М.К., Куликов Г.С. Электрические свойства и распад твердого раствора железа в кремнии. //ФТТ, 1971, т. 13, в.9, с.2675-2678 . |
3 | Shepherd W.H., and Turner J.A. Iron-Boron pairing in Silicon. //J. Phys. Chem. Sol., 1962, v.23, No.12, p.1697-1706. |
4 | Татохин Е. А., Буданов А. В., Бутусов И. Ю., Васильева Л. В., Тутов Е. А. Емкостная спектроскопия глубоких уровней при обмене носителями заряда между уровнями и обеими разрешенными зонами. Вестник ВГУ, серия: физика. математика, 2008, № 2, С.60-70. |
5 | Tanay F., Dubois S., Veirman J., Enjalbert N., Stendera J., Perichaud I. OxygenRelated Thermal Donor Formation in Dopant-Rich Compensated Czochralski Silicon. IEEE Trans. Electron Devices. 2014 , Vol: 61, No: 5 , Р. 1241-1245. |
6 | Шалимова М.Б., Сачук Н.В. Деградация электрофизических характертик МОП структур с оксидами эрбия, гадолиния, диспрозия под действием электрического поля. ФТП, 2015, т.49, в.8, с.1071-1083. |