247

Kremniyda II- va III-davr elementlarining diffuziyasi ko’rib chiqiladi. Xususan, turli mualliflar tomonidan bu elementlar uchun olingan tajriba natijalari “Eng kichik kvadratlar usuili” bilan qayta ishlanib, har bir davrdagi barcha elemnetlarning diffuzin parametrlari uchun umumiy ifodalar olinadi hamda tajriba qiymatlari noma’lum bo’lgan elementlarning diffuzion parametrlari bashorat qilinadi.

  • Jurnal nomi
  • Nashr soni
  • Ko'rishlar soni 247
  • Internet havola
  • DOIdoi.org/10.47100/conference_physics/S2_32
  • UzSCI tizimida yaratilgan sana 20-08-2020
  • O'qishlar soni 134
  • Nashr sanasi
  • Asosiy tilO'zbek
  • Sahifalar195-199
Ўзбек

Kremniyda II- va III-davr elementlarining diffuziyasi ko’rib chiqiladi. Xususan, turli mualliflar tomonidan bu elementlar uchun olingan tajriba natijalari “Eng kichik kvadratlar usuili” bilan qayta ishlanib, har bir davrdagi barcha elemnetlarning diffuzin parametrlari uchun umumiy ifodalar olinadi hamda tajriba qiymatlari noma’lum bo’lgan elementlarning diffuzion parametrlari bashorat qilinadi.

English

The diffusion of II - and III - period elements in silicon is considered. In particular, experimental data for the diffusion parameters of these elements obtained by various authors are processed using the least squares method and General expressions are obtained for the diffusion parameters of these elements, as well as the diffusion parameters of elements whose experimental values are unknown are predicted.

№ Muallifning F.I.Sh. Lavozimi Tashkilot nomi
1 Karimov I.N.
2 Nosirov M.Z.
3 Yuldasheva N..
4 Alieva J..
№ Havola nomi
1 . S.Zaynobidinov, Sh.Yulchiev, D.Nazirov, M.Nosirov Keremniyda atomlar diffuziyasi, Toshkent, 2012, 170 b.
2 B.I.Boltaks Diffuzija i tochechnye defekty v poluprovodnikakh, L. Nauka, 1972.
3 Okislenie, diffuzija, ehpitaksija, pod red. R.Burgera i R.Donovana, M. Mir, 1069, 451 s.
4 D.J.Fisher Diffusion in Silicon 10 Years of Research. 2013.
5 S.Zajjnabidinov, M.Nasirov, Zh.Alieva O koehfficientakh diffuzii 3dehlementov v kremnii, UFZh, 2003, №1, s.69-71.
6 M.Nosirov, Zh.Alieva Poluehmpiricheskie diffuzionnye parametry atomov 3d perekhodnykh ehlementov v kremnii//Matematicheskie i komp'juternoe modelirovanie № 2 (3), fevral', 2019 g., c.98-102
7 Zh.Alieva, M.Nasirov, M.Abdukakhkharova, N.Abbosova O diffuzionnykh parametrakh primesnykh atomov V gruppy ehlementov v kremnii// Molodojj uchenyjj, 2018, №51 (237),s.1-3.
Kutilmoqda